半導(dǎo)體風(fēng)囊泵與隔膜泵區(qū)別隔膜泵 ？

半導(dǎo)體制造過程中，對流體傳輸?shù)木群蜐崈舳纫髽O高，風(fēng)囊泵和隔膜泵作為兩種關(guān)鍵設(shè)備，其差異主要體現(xiàn)在工作原理和適用場景上隔膜泵 。

風(fēng)囊泵通過壓縮空氣驅(qū)動柔性風(fēng)囊產(chǎn)生脈動，實現(xiàn)流體的單向輸送隔膜泵 。其優(yōu)勢在于無機械摩擦設(shè)計，避免了金屬部件接觸導(dǎo)致的顆粒污染，特別適合超純化學(xué)品傳輸。例如在光刻膠涂布環(huán)節(jié)，風(fēng)囊泵能保持流體穩(wěn)定且無脈動殘留，確保晶圓表面均勻性。但受限于風(fēng)囊材質(zhì)(多為特氟龍或氟橡膠)，其耐強酸強堿性能較弱，長期使用可能出現(xiàn)疲勞裂紋。

風(fēng)囊泵

相比之下，隔膜泵采用電機驅(qū)動金屬或陶瓷隔膜往復(fù)運動，通過閥組控制流向隔膜泵 。其剛性結(jié)構(gòu)可承受更高壓力(可達10bar以上)，常用于CMP工藝中的研磨液輸送。多層鍍膜隔膜設(shè)計能有效隔離電機與流體腔，但閥球與閥座的頻繁開合可能產(chǎn)生微米級磨損顆粒，需搭配在線過濾器使用。

未來趨勢上，風(fēng)囊泵正通過納米涂層技術(shù)提升耐腐蝕性，而隔膜泵則引入磁力耦合驅(qū)動以消除動態(tài)密封污染隔膜泵 。半導(dǎo)體廠通常根據(jù)工藝需求混合配置——關(guān)鍵潔凈區(qū)域優(yōu)選風(fēng)囊泵，高粘度或高壓場景則依賴隔膜泵實現(xiàn)精準流量控制。